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特種氣體充裝要點(diǎn)

 一、永1久性氣體的充裝

 1、專業(yè)培訓(xùn)、持證上崗、遵守規(guī)程。

 2、佩戴防護(hù)用品、檢查設(shè)備。

 3、對鋼瓶復(fù)查、檢查氣密性。

 4、開啟總閥，準(zhǔn)備充氣。

 5、充裝時的檢查。

 6、發(fā)現(xiàn)問題的處理。

 7、壓力大于12.5MPa時，禁止進(jìn)入。

 8、確定高充裝壓力。

 9、切換總閥，分類堆放好。

基準(zhǔn)溫度：是由氣體產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的基準(zhǔn)充裝標(biāo)準(zhǔn)溫 度。我國規(guī)定是20℃

特種氣體有哪些？

特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)1療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程，合肥特種氣體，主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等，是下游1行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料，被譽(yù)為電子產(chǎn)業(yè)的“糧食”和“源”，現(xiàn)有單元特種氣體260余種，可配制成25000多種混合氣體。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

1.材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 。

2.主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后，特種氣體供應(yīng)商，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短，拐彎少，布置緊湊合理，給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。

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